HITACHI : 日立評論 : 半導体デバイスの高品質・高効率生産を実現する検査・解析ソリューション

注：略語説明: SEM（Scanning Electron Microscope），QTAT（Quick Turnaround Time），CD-SEM（Critical Dimension SEM）

日立グループの半導体デバイス計測，検査，解析システム
　日立グループは，半導体デバイスの高品質・高効率生産を実現するために，計測，検査，解析用個別機器に加え，デバイスとプロセスごとの検査・解析アプリケーションを提供している。

　2004年に入り，90nmノード製品の量産と65nmノード製品の開発が本格化してきた。このような半導体デバイスの開発期間短縮と高品質・高効率生産では，特にデバイスの電気特性を評価し，プロセス条件の最適化や管理にフィードバックしていく技術が重要となる。
　このため，日立グループは，電気特性評価に着目し，多様なデバイスやプロセスに応じた検査・解析装置とアプリケーション技術を検査・解析ソリューションとして提案している。

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