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ナノプリントによる簡便・低コストなナノ加工技術

Cost-Cutting Production Method for Nano-Scale Fabrication by Nanoprint Technology
宮内昭浩・荻野雅彦・桑原孝介・根本雅文・山崎隆徳


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概要図
 
注:略語説明
IT(Information Technology),DNA(デオキシリボ核酸)
 
 
ナノプリント技術の位置づけと応用展開
 従来の微細化技術では,微細化に伴って加工コストが増大してしまう。ナノプリント技術は,ナノスケールの微細構造をミクロンレベルから一括転写する新しい成型技術である。日立グループは,ナノプリント技術の適用による製品の高性能化や新市場の創生を,各種産業分野へ展開中である。
 

 
 ナノプリント技術は,微細な金型を樹脂薄膜に押し当て,金型のパターンを樹脂薄膜へ転写する新しい製造技術である。従来の微細加工には多大な設備投資が必要であり,半導体やディスプレイ産業のような巨大産業にだけ適用されてきた。ナノプリント技術は,微細加工を簡便・低コストに実現でき,ナノスケールの構造体をごく簡単に形成することを可能とする。そのため,今後,各種の産業分野への展開が期待されている。
 日立グループは,世界最大の転写面積を実現しており,特に,アスペクト比の大きいナノピラー(ナノスケールの柱状構造体)の形成プロセスに特徴がある。ナノプリントでは,樹脂材料やナノスケールの金型,プレス装置など,総合的な技術開発が必要となる。日立グループは,ナノプリントを総合的に開発,サポートできる数少ない企業グループとして,ナノプリント技術によるさまざまなソリューションを提案している。
 
 
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