HITACHI : 日立評論 : 界面材料開発を支援するナノシミュレーション・計測技術

界面におけるナノシミュレーション・計測の位置付け
　界面におけるナノオーダーの接着特性と元素・組成解析により，積層製品の信頼性向上と開発期間削減を図る。

　ナノメートルオーダーの領域の積層製品開発では，従来なかった新しい材料が導入され，薄膜・界面構造の原子レベルでの制御が必須となっている。このため，界面特性を予測できるシミュレーション技術や，ナノ構造・組成を解析できる計測技術がますます重要となっている。
　そのため，日立グループは，異種材料の界面特性を高速・高精度に解析できる分子シミュレーション技術を開発した。さらに，分析電子顕微鏡を用いて原子・ナノレベル間で元素分布・組成状態を計測し，高感度に評価する手法も開発した。これにより，粘着剤ポリマーと金属の接着強度の評価を可能とした。さらに，分子動力学計算により，半導体の薄膜界面で，種々の材料の組み合わせから銅と接着強度が高い材料物性を予測するとともに，WとTiN界面で窒素の欠損部を観察できるようにした。

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