HITACHI : 日立評論 : 球面収差補正機能を搭載した走査透過電子顕微鏡「HD-2700」

球面収差による解像度低下の概念
　STEM（走査透過電子顕微鏡）の分解能を改善するためには，対物レンズの球面収差を大幅に低減する技術が必要になる。

　電子顕微鏡の技術者にとって，電子光学系で原理的に生ずる球面収差を補正し，分解能を飛躍的に向上させることは長年の夢であった。
　株式会社日立ハイテクノロジーズは，球面収差補正器を搭載した次世代のSTEM（走査透過電子顕微鏡）を開発した。
　球面収差補正器は一種の凹レンズとして作用し，電子光学系の球面収差を極限まで低減する。この結果，より大きな収束角でサブナノメートルの電子ビーム径が得られ，高分解能観察と高感度分析の両立が可能となる。
　次世代の半導体や材料，ナノテクノロジーの研究開発を強力に支援する解析装置になるものと期待している。

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球面収差補正機能を搭載した 走査透過電子顕微鏡「HD-2700」

球面収差補正機能を搭載した
走査透過電子顕微鏡「HD-2700」