- 注：略語説明
- BF（Bright Field），DF（Dark Field），SEM（Scanning Electron Microscope），EB（Electron Beam）
，ADC（Auto Defect Classification）
日立ディフェクトレビューシステムのコンセプト
日立ディフェクトレビューSEMはウェーハ検査装置が検出した欠陥を高速・高精度に自動観察し，欠陥を自動分類するインライン運用がコンセプトである。分類データは歩留り解析システム上で管理され，歩留り管理に活用されるとともに，問題発生時には原因を抽出し，対策に迅速なフィードバックを掛ける。
近年，半導体業界では，他社よりも早くコスト競争力のある最先端デバイスを市場に供給することが，事業の成否を決める重要な要素になっている。そのため半導体製造プロセスは微細化，複雑化が加速しており，検査装置の高感度化が進み，検出欠陥数は増加の一途をたどっている。従来の検査手法，解析手法では量産プロセスの歩留りを垂直立ち上げすることが困難になりつつある。株式会社日立ハイテクノロジーズは，ディフェクトレビューSEM（走査型電子顕微鏡）とシステム製品を開発し，半導体製造プロセス中で発生する膨大な検出欠陥の中から，プロセス改善や工程管理に有効なデータを効率よく抽出するソリューションを提案している。
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