HITACHI : 日立評論 : ミニエンバイロメントシステム時代のクリーンルーム技術

注：略語説明: FPD（Flat Panel Display）

大空間クリーンルームと局所精密環境システム技術
　ミニエンバイロメントシステム時代のクリーンルーム技術として，低コスト，省エネルギーに優れた大空間クリーンルームと，製造工程の局所精密環境制御を可能にする各種システムを提供する。

　半導体，ディスプレイ，ストレージなどの各種電子デバイスの品質，製品歩留り向上には，製造工程に応じて清浄度や温湿度などを精密に制御した環境が必要である。近年，必要最小限のクリーンルーム空間のみを高度に環境制御する傾向が強まり，日立グループは，これに対応した大空間と局所の両面からのクリーンルーム技術開発を行ってきた。大空間対応では面積効率のよい清浄度緩和型のリターンダクトレスクリーンルームを，また，局所精密環境対応では微粒子汚染はもとより，各種ケミカルや水分といった分子汚染を効率よく除去するシステム（ケミカルフリー環境システム，低露点環境システム），精密に温度制御する精密恒温環境システムなどの技術をそろえて，トータルクリーンテクノロジーとしてさまざまな要望に応えている。

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