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ハードディスク製造設備の展望

Prospect of Hard Disk Manufacturing Equipment
樋口龍治・森恭一


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概要図
 
注:略語説明
TPI(Track per Inch)
 
 
HDD技術ロードマップと設備技術
 HDDの主な仕様である面記録密度,トラックピッチ,ヘッド浮上量,および周波数の予測と対応する主な設備技術を示す。
 

 
 HDDは,近年高密度化・高容量化が進んでいる。製造設備においても新技術への対応や量産安定性の確立が不可欠となっている。
 その基幹技術の向上策として,(1)光学検査技術による微小欠陥検出方式の開発,(2)高周波回路技術による検査回路のシミュレーション解析と専用LSIの開発,(3)高精度メカニクス技術によるヘッド位置決め機構・低振動機構の開発などを進めている。
 株式会社日立ハイテクノロジーズは,HDDの基幹部品であるディスク(媒体)やヘッドの製造・検査に関する技術開発と関連設備のラインアップを拡充し,高効率生産の実現に取り組んでいる。
 
 
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