HITACHI : 日立評論 : Cold FE電子銃を搭載したハイエンド分析電子顕微鏡「HF-3300」

注：略語説明: Cold FE（Cold Field Emission）

電界放出形透過電子顕微鏡「HF-3300」の外観
　Cold FE電子銃と加速電圧300 kVを組み合わせた新型の電界放出形透過電子顕微鏡「HF-3300」の外観を示す。

　株式会社日立ハイテクノロジーズは，ハイエンドな透過電子顕微鏡（TEM）として，高輝度と高エネルギー分解能が同時に得られるCold FE電子銃（冷陰極電界放出形電子銃）を搭載した電界放出形透過電子顕微鏡「HF-3300」を開発した。Cold FE電子銃の有する特長が新たな解析評価技術を生み，これまで電子顕微鏡では見ることができなかったものが見られるようになってきた。その結果，半導体デバイス開発や不良解析，プロセス反応の解明に至るまで，高度化する解析ニーズへの対応が可能となった。電子顕微鏡技術を用いた解析評価や材料開発分野において新境地を切りひらく，次世代の電子顕微鏡として期待される。

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