日立評論

フランス国立研究機関CEMESとのグローバルコラボレーション

―共同プロジェクトでハイエンドTEMに収差補正器を搭載―

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日立評論

フランス国立研究機関CEMESとのグローバルコラボレーション

―共同プロジェクトでハイエンドTEMに収差補正器を搭載―

ハイライト

株式会社日立ハイテクノロジーズ(以下,「日立ハイテク」と記す。)は,フランスの国立科学研究機関CEMES(Centerfor Materials Elaboration and Structural Studies:材料精緻化・構造研究センター)とのコラボレーションにより,ハイエンドFE-TEM(Field-Emission - Transmission ElectronMicroscope:電界放出形透過電子顕微鏡)に球面収差補正器を搭載した電子顕微鏡を開発して,2012年にCEMESに納入した。この装置は,世界最高クラスの分解能(磁場フリー位置で空間分解能0.5 nm)を得ている。

本稿では,コラボレーションの成功に至る道筋を振り返る。

目次

執筆者紹介

飯田 一志

  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム営業本部 マーケティング部 所属
  • 現在,ヨーロッパ向け輸出営業業務に従事

谷口 佳史

  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム製品本部 電子顕微鏡第二設計部 所属
  • 現在,主にTEMの技術開発と技術指導に従事
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