株式会社日立パワーソリューションズの超音波映像装置FineSATは，半導体をはじめとする電子部品内部のクラックや剥離などを，超音波によって非破壊で検出し，画像化する装置である。検査画像の高分解能化のために，音響レンズを用いて超音波を集束ビーム化して検査対象に照射する。電子部品の小型化に伴い，測定画像のさらなる高分解能化，高精細化が求められている。

これらのニーズに応えるため，検査対象に照射する超音波の高周波成分を強調する装置を組み込むことでさらなる高分解能化を実現し，従来2.5〜4 µm程度が限界であった検出能を1〜1.6 µmまで向上させた。また，照射する超音波集束ビームの強度分布を考慮してデコンボリューションを行う処理を組み込んだことにより，コントラストを1.6倍向上させ，検査画像の高精細化を実現した。