日立評論

収差補正器のSTEM(HD-2700),TEM(HF-3300S),1.2 MV FIRSTプログラム向け開発,そして将来への展望

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ハイライト

電子顕微鏡では,電子レンズが持つ球面収差により,分解能向上が長らく阻まれてきた。1990年代中盤にようやく,この球面収差を補正する装置が開発された。しかし,高加速電圧なSTEM・TEMへの搭載には多くの技術課題があった。日立製作所・日立ハイテクノロジーズでは,球面収差補正器の実用化開発を進めるCEOS社と共同で,球面収差補正器を搭載した200 kV STEM,300 kV TEMを開発し,分解能の大幅な向上を実現した。さらに1.2MV原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡への搭載にも成功し,世界最高分解能の達成に大きく貢献した。これらの開発では,高電圧・超高電圧に対応した球面収差補正器の開発とともに,電子顕微鏡本体も安定性を大幅に高める必要があり,緊密な協力体制により,技術課題を一つ一つ解決していった。

本稿では,CEOS社を創設し,球面収差補正器の開発を率いてきたMax. Haider氏に,CEOS社と日立製作所・日立ハイテクノロジーズとの共同開発を総括していただいた。

目次

執筆者紹介

Prof. Dr. Max. Haider

  • CEOS社の共同創設者,前 マネージングディレクター
  • 現在は同社シニアアドバイザ 兼 役員
  • カールスルーエ工科大学名誉教授

Dr. Heiko Müller

  • CEOS社 マネージングディレクター
  • 最先端荷電粒子システムの理論研究およびプロジェクトマネジメントに従事
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