近年，スマートフォンの高機能フィルムや燃料電池の電解質膜には種々の薄膜が使われ，あるいは燃費向上のためのエンジンピストン表面の粗さ管理など，われわれの生活を支える技術基盤として薄膜および表面の計測技術は欠かせない。

この表面解析ソリューションの一つとして走査型白色干渉顕微鏡VS1000シリーズをリリースし，ラインアップを拡充した。走査型白色干渉顕微鏡は表面形状・表面粗さ・膜厚を三次元で計測可能な装置である。数ミリメートルの広い観察範囲を高い垂直分解能0.01 nmで，数秒程度の時間で計測することが可能である。さらに，透明多層膜の膜厚や層断面，あるいは層内部にある異物・はがれなどを非接触・非破壊で計測できる特徴を有する。