1. 多様化する顧客ニーズに適応する走査型電子顕微鏡SU3800/3900
近年,各種材料の高機能化や高性能化を図るため,微細構造の制御が必要なことから,SEM(Scanning Electron Microscope)の活用用途が従来の研究開発に加え,品質保証や生産管理にも広がっている。そのため,操作性のさらなる向上によるオペレータの負担軽減も求められている。
「SU3800」と「SU3900」は,電子顕微鏡の軸調整やフォーカスなど種々の操作をオート化し,操作性と機能性を両立させた。
フィラメント状態のモニタリング/最適化により使用時間向上と残り使用時間の目安が確認できるIFT(Intelligent Filament Technology)機能や,広角光学カメラ像を基に指定した箇所へステージ移動できるSEMMAP(ステージ可動域全域),SEM観察から元素分析,レポート化までの操作を一体化し操作性を向上するEDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)インテグレーション機能などの新機能を搭載している。
さらに,大型機「SU3900」は300 mm径,最大重量5 kg(従来比2.5倍)を搭載可能な試料ステージを実現し,従来機種に比べ試料の切断など観察前処理の負担を低減できる。
(株式会社日立ハイテクノロジーズ)