特集1　地球環境問題にこたえる空調システム

• 地球環境問題と空調システムの技術動向
• 空調機器の最適システム「システムフリー」
• 氷蓄熱システムを利用したビル用マルチエアコン
• 省エネルギーを追求した「カラッと除湿」ルームエアコン
• 吸収冷凍機の動向
• クリーンルームの省エネルギー対策
• 省エネルギーと省コストを目指した地域冷暖房システム

特集2　電子･イオン技術を用いた表面観察･分析の新展開

• 電子・イオンビームを用いた観察・分析技術の動向
• 電子ビームを用いた半導体プロセス評価装置
• 走査電子顕微鏡による半導体ウェーハ表面の異物観察と分析
• 冷陰極電界放出型分析電子顕微鏡による極微小部分析
• エネルギーフィルタを装備した電子顕微鏡による 薄膜磁性材料の元素分布像観察
• 透過電子顕微鏡によるセラミックス合成とその原子像観察
• 集束イオンビーム加工法で作製した材料の透過電子顕微鏡による観察
• 走査電子顕微鏡による食品などの直接観察
• 新製品紹介

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