日立評論

大気圧下で手軽にSEM観察を実現,食品・植物・生体組織などの観察が可能に

卓上大気圧顕微鏡 AeroSurf 1500

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Hitachi

日立評論

ハイライト

大気と真空を分離させ,電子線を透過することが可能な隔膜を用いることによって,大気圧下で走査電子顕微鏡観察が可能な卓上大気圧顕微鏡「AeroSurf1500」を開発した。本AeroSurf1500では隔膜に試料を密着させないため,固体試料が大気下で観察できるという特徴がある。

また,隔膜と試料との間の大気ガスによる電子線散乱の影響を,画像から低減することが可能な電子線散乱補正(ES-Corrector)アルゴリズムを開発した。この結果,前処理を行うことなく食品,生体試料などの含水固体試料を大気圧下で電子顕微鏡観察できるようになった。

目次

執筆者紹介

大南 祐介Ominami Yusuke

  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ科学・医用システム事業統括本部 科学システム製品本部 電子顕微鏡第二設計部 所属
  • 現在,電子顕微鏡システムの開発に従事
  • 工学博士
  • 日本顕微鏡学会会員
  • 日本真空学会所属

中平 健治Nakahira Kenji

  • 日立製作所 研究開発グループ 生産イノベーションセンタ検査・計測研究部 所属
  • 現在,検査画像向け画像処理・信号処理技術の開発に従事
  • 工学博士
  • IEEE会員
  • 電子情報通信学会会員

久田 明子Hisada Akiko

  • 日立製作所 研究開発グループ ヘルスケアイノベーションセンタ バイオシステム研究部 所属
  • 現在,電子顕微鏡を用いた生物試料観察技法の開発に従事
  • 技術士(生物工学)
  • 日本分子生物学会会員

中林 誠Nakabayashi Makoto

  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム製品本部 電子顕微鏡第二設計部 所属
  • 現在,大気圧SEMの機構系の設計開発に従事

庄子 美南Shoji Minami

  • 日立製作所 研究開発グループ ヘルスケアイノベーションセンタ バイオシステム研究部 所属
  • 現在,日立ハイテクノロジーズにて,大気圧SEMの真空-大気分離技術の開発に従事
  • 応用物理学会会員

吉原 真衣Yoshihara Mai

  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム製品本部 電子顕微鏡第二設計部 所属
  • 現在,大気圧SEMのバイオ形態観察技術の開発に従事
  • 日本植物形態学会会員

佐藤 賢一Sato Kenichi

  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム営業本部 マーケティング部 所属
  • 現在,電子顕微鏡関連装置のマーケティングに従事

伊東 祐博Ito Sukehiro

  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム製品本部 所属
  • 現在,科学システム装置全般の統括業務に従事
  • 日本顕微鏡学会会員
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